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什么是多晶硅靶材-今日头条

2023年9月7日-什么是多晶硅靶材 多晶硅是一种重要的溅射靶材材料,使用磁控溅射方法制备SiO2等薄膜层,能够使基体材料具有更好的光学、介电及抗蚀性能,被广泛应...
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2024年4月15日-半导体晶圆制造中,200mm(8寸)及以下晶圆制造通常以铝制程为主,使用的靶材以铝、钛元素为主。300mm(12寸)晶圆制造,多使用先进的铜互连技术,主要......
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溅射硅靶材分类及技术要求

7个月前 - 按生长方式分产品按生长方式可分为单晶硅靶和多晶硅靶材.目前制备单晶硅一般使用直拉法,将熔融的硅控制到熔点温度,在熔点温度下用一块小的单晶硅(晶籽)引出,液态的硅会在的表面一层一层逐渐生长,形成单晶结构.......
晶格半导体weixin.qq.com - 2023-10-16

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