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一种高纯铝硅靶材及其制备方法.pdf-原创力文档

2023年7月6日- 本发明提供了一种高纯铝硅靶材及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:将高纯铝硅靶坯依次进行锻伸、一次热处理、静压、二次热处理、压延以及三... 2023年7月6日-...
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铝硅靶材的制作方法与流程

2021年3月23日-本发明涉及一种铝硅靶材的制作方法。 背景技术: 由于铝具有电阻率低(室温为2.7uω)、易沉积、易刻蚀等特点、且工艺成熟,因此主要用作互联材料广泛应......
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